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半導體制造過程中每一個環節都需要許多閥門和配套的解決方案,真空和氣流的 高精度控制與隔離在半導體制造中至關重要,所有閥門都要保證在高循環次數及精確的可重復性。精確性主要體現在在規定時間內實現精確的體積流動,實現一致、可靠的密封。
從分類看,半導體閥主要包括隔膜閥,波紋管閥,真空閥,球閥,蝶閥,門閥,角閥,特氟龍閥門和其他,其中真空閥為主要的半導體閥類型,根據 QYR 數據,2020 年全球共消費了 82.36 萬個真空閥,約占全球半導體閥市場的33.66%。
目前,半導體等領域的高純氣路管閥件的生產制造核心技術主要掌握在日本、美 國、瑞士等國家,國內目前生產的衛生級閥件主要用于食藥,以及部分半導體領域,但與進口閥件存在較大差距。
目前,全球主要的半導體閥生產企業包括瑞士VAT、派克(Parker)、富士金(Fujikin)、CKD、世偉洛克、MKS、SMC Coporation、GEMÜ,Entegris 和 Festo 等。
根據 QY Research 數據,2020 年全球半導體閥市場營業額約為 12.3 億美元,并預計到 2027 年將達到 19.6 億美元,2021-2027 年復合增長率約為 6.07%。此外,2020 年,排名前三的半導體閥件廠商約占整個市場的 64%,呈現較高的集中度。
其中,VAT的營業額達539.94百萬美元,占全球半導體閥總市場的 43.88%,其次 是派克,2020 年半導體閥營業額為 136.93 百萬美元,市占率約為 11.13%。
瑞士 VAT 成立于 1965 年,是全球領先的高性能高端真空閥,多閥模塊,邊焊波 紋管及相關增值服務的開發商,制造商和供應商。該公司專注于設計和生產用于 半導體,顯示器和太陽能電池板制造的真空閥,以及一系列工業和其他研究應用。根據立鼎產業研究網數據,VAT 在半導體真空閥領域市占率超過 65%。
美國派克漢尼汾(Parker)成立于1938 年,是全球運動和控制領域、產品種類zui完備的公司,是weiyi一家為客戶提供液壓、氣動和機電一體化運動控制方案的 制造商。公司致力于提供yiliu的產品及用戶服務,為各種汽車、工業和航空市場 提供精確設計的解決方案。
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